干式螺桿真空泵是一種先進的真空獲得設備，通過兩個相互嚙合但不接觸的螺桿轉子在泵腔內同步反向旋轉來產生真空。與傳統油封式真空泵不同，干式螺桿真空泵無需工作液，能夠提供潔凈無污染的真空環境，因此在半導體、光伏、化工和制藥等對潔凈度要求很高的領域得到了廣泛應用。
一、基本工作原理
干式螺桿真空泵是一種先 的真空獲得設備，通過兩個相互嚙合但不接觸的螺桿轉子在泵腔內同步反向旋轉來產生真空。與傳統油封式真空泵不同，干式螺桿真空泵無需工作液，能夠提供潔凈無污染的真空環境，因此在半導體、光伏、化工和制藥等對潔凈度要求很高的領域得到了廣泛應用。
二、主要技術特點
1、干式運行：無需任何工作液，避免了油蒸氣污染，適合潔凈環境
2、抽速范圍寬：單級可實現10^5至10^-² Pa的寬范圍真空
3、耐腐蝕設計：可采用特殊涂層和材料處理，適應腐蝕性氣體環境
4、易于維護：結構相對簡單，維護周期長，運行成本低
5、低振動低噪音：動態平衡良好的轉子設計確保運行平穩
三、與傳統真空泵的對比優勢
| 對比維度 | 干式螺桿真空泵 | 油封式旋片泵 | 羅茨真空泵 |
| 潔凈度 | 較高，無油污染 | 有油蒸氣污染風險 | 較高，但可能有微量潤滑劑 |
| 維護需求 | 低 | 高（需定期換油 | 中等 |
| 耐腐蝕性 | 可通過材料升級增強 | 較差 | 中等 |
| 極限真空 | 中高真空(10?² Pa) | 中真空(10?¹ Pa) | 需與前級泵組合使用 |
| 能耗效率 | 較高 | 較低 | 高 |
浙江省的真空泵設備廠家——杭州新安江工業泵有限公司，主營干式螺桿真空泵、水噴射真空泵、水環式真空泵、液環真空泵、無油真空泵、羅茨真空泵、鋼襯四氟真空機組、不銹鋼真空機組、鋼襯塑PE/鋼襯塑PO儲罐、鋼襯四氟儲罐、不銹鋼儲罐、PPH/HDPE儲罐、廢氣處理成套設備、酸霧凈化塔、防腐儲槽、真空罐、計量罐、化工離心泵、料漿泵、磁力泵、自吸泵、管道泵等。
我企業是一家集科研、設計、生產、銷售和系統集成為一體的高新技術企業，近七年連續列入建德市重點工業企業， 2012年被評為國家高新技術企業。公司努力加快技術創新和新產品開發的步伐，現擁有杭州新安江防腐工業泵省高新技術企業研發中心，擁有羅茨真空泵冷卻系統等45項國家zhuan利技術（其中發明zhuan利4項）。
